requestId:68a4ad6285ccd1.46525968.
中國網/中國發展門戶網訊 二維過渡金屬碳化物和氮化物M奇藝果影像Xene被公認為品牌活動在電子和光電器件中具有重要應用潛力，然而，已報道的MXene薄膜的圖案化方法難以兼顧效率、分辨率和與主流硅工藝的兼容性。近日，中國科學院金屬研究所大型公仔沈陽材料科學國家研究中心的科研人員活動佈置與國內多家單位科研團品牌活動隊合作，通過設計MXene材料的離心、旋涂、FRP光刻和蝕刻工藝，提出了一種具有微米級分辨率的沈浸式體驗晶圓級MXene薄膜圖案化方法，并構筑了1024高像素密度光包裝設計電探測器陣列。該陣列具有優異的均人形立牌勻性、高分辨率成像能力大型公仔、迄今為止最高的MXene光VR虛擬實境電探測器的探測度。研究成果于2022年2月28日在《先進場地佈置材料》在線發表。
據介紹人形立牌，科研人員在對Ti3C2Tx溶液離心工藝和襯底親水性進行優化后，采用旋涂法制備了4英寸MX大型公仔ene薄膜，并通過優化半導體光刻和干法刻蝕工藝實現了晶圓級MXene薄膜的圖案化，精度達到2 μm。基于AR擴增實境此，結合硅（Si）的光電記者會性能展場設計，科研人員制備了MXe場地佈置ne/S廣告設計啟動儀式i肖特基結光電探測器場地佈置，實現了高達7.73×101經典大圖4 Jones的探測度以及策展6.22×106的明暗電流比大型公仔，為目前所報道的MXene光電探測器的最高性能。使用碳納米管晶體管作大圖輸出為選模型通開關，科研人員制備了啟動儀式1晶體管-舞臺背板1探測器（1T1P）的像素單元，并成功構筑了具有1024像素FRP的高分辨率光電探測器陣列，為目前最攤位設計大的MXene功能陣列。該工作將促進兼容主流半導體工藝的大規模包裝設計高性能MXene電子學的發展。
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